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主軸系統(tǒng)位于設(shè)備的下方， 由電機(jī)通過窄V帶拖動， 采用最短的傳動鏈保證了其運(yùn)轉(zhuǎn)精度，下盤采用高精度軸承定位支撐，運(yùn)轉(zhuǎn)剛度和精度都得到了良好的保障， 下盤軸下部裝有旋轉(zhuǎn)接頭， 用于下盤內(nèi)通冷卻水， 下盤冷卻水流量可通過電動閥比例調(diào)節(jié)。

PP拋光頭位于設(shè)備的上部， P P頭的升降及加壓由氣缸實現(xiàn)， 四個P P頭的升降及加壓均單獨控制； P P頭可主動旋轉(zhuǎn)， 單獨控制； PP頭具備真空吸附功能， 可將陶瓷盤快速提起；

在設(shè)備的上部箱體正面設(shè)有主操作面板， 可進(jìn)行參數(shù)設(shè)定， 運(yùn)行監(jiān)控等功能， 在上箱體的兩個側(cè)面分別設(shè)有小操縱板用于四個P P 頭的升降操作；

拋光液、冷卻水、清洗水及氣路等從設(shè)備的后部引入；

在下盤的外側(cè)設(shè)有可滑動的防護(hù)罩， 可防止工作液的飛濺， 減少有害氣體的溢出。